Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems, 6, Band 6)

"Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices" von Jan G. Korvink ist ein umfassendes Werk, das sich mit der Zuverlässigkeit von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS) befasst. Das Buch gehört zur Reihe "Advanced Micro and Nanosystems" und bietet einen tiefen Einblick in die Methoden und Techniken zur Bewertung der Zuverlässigkeit von MEMS-Materialien und -Geräten. Es behandelt verschiedene Aspekte der Zuverlässigkeitsprüfung, einschließlich der mechanischen, thermischen und elektrischen Belastungen, denen MEMS während ihrer Lebensdauer ausgesetzt sind. Darüber hinaus werden Testmethoden vorgestellt, um die Leistung und Haltbarkeit dieser Systeme zu bewerten. Das Buch richtet sich an Ingenieure und Forscher im Bereich Mikrosystemtechnik sowie an Studierende, die sich mit den Herausforderungen bei der Entwicklung zuverlässiger MEMS-Technologien auseinandersetzen möchten. Durch eine Kombination aus theoretischem Wissen und praktischen Anwendungen bietet das Werk wertvolle Einblicke in die neuesten Fortschritte auf diesem Gebiet und unterstützt Fachleute dabei, die Langlebigkeit und Funktionalität von MEMS zu verbessern.