System-level Modeling of MEMS (Advanced Micro and Nanosystems, 10, Band 10)

"System-level Modeling of MEMS" von Christofer Hierold ist ein umfassendes Werk, das sich mit der Modellierung von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS) auf Systemebene beschäftigt. Das Buch gehört zur Reihe "Advanced Micro and Nanosystems" und bietet einen detaillierten Einblick in die Methoden und Techniken, die für die Entwicklung und Analyse von MEMS erforderlich sind. Es behandelt verschiedene Aspekte der MEMS-Modellierung, einschließlich physikalischer Prinzipien, mathematischer Modelle und Simulationsstrategien. Der Band legt besonderen Wert auf interdisziplinäre Ansätze, die mechanische, elektrische und thermische Komponenten integrieren. Ziel des Buches ist es, Ingenieuren und Forschern Werkzeuge an die Hand zu geben, um komplexe MEMS-s effizient zu modellieren und deren Verhalten vorherzusagen. Durch Fallstudien und praktische Beispiele wird verdeutlicht, wie theoretische Konzepte in realen Anwendungen umgesetzt werden können. Das Buch richtet sich an Fachleute im Bereich der Mikrosystemtechnik sowie an Studierende höherer Semester in verwandten Disziplinen.