Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

"Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik" von Gerhard Franz ist ein Fachbuch, das sich mit den Grundlagen und Anwendungen von Niederdruckplasmen in der Mikrostrukturtechnik beschäftigt. Das Buch bietet eine umfassende Einführung in die physikalischen Prinzipien von Plasmen bei niedrigem Druck und deren Einsatzmöglichkeiten in der modernen Fertigungstechnik. Es behandelt Themen wie die Erzeugung und Diagnostik von Plasmen, die Wechselwirkungen zwischen Plasmen und Materialien sowie spezielle Verfahren zur Strukturierung und Modifikation von Oberflächen auf mikroskopischer Ebene. Darüber hinaus wird auf aktuelle technologische Entwicklungen eingegangen, die für die Herstellung von Halbleitern, Mikrochips und anderen hochpräzisen Bauteilen relevant sind. Das Werk richtet sich an Ingenieure, Physiker und Studierende, die sich mit den innovativen Methoden der Mikro- und Nanotechnologie vertraut machen möchten.