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Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium...

Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium...

Carsten Strobels Dissertation untersucht die dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen. Der Fokus liegt auf der Verwendung linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen, um die Effizienz und Qualität der hergestellten Solarzellen zu verbessern. Die Arbeit analysiert die physikalischen und chemischen Prozesse während der Abscheidung und bewertet deren Einfluss auf die Materialeigenschaften der Dünnschichten. Ziel ist es, durch optimierte Prozessbedingungen leistungsfähigere und kosteneffizientere Solarzellen zu entwickeln.


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